Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

Rectorado de la Universitat Politècnica de València

La contratación objeto del presente expediente se hace necesaria a fin de llevar a cabo la labor de investigación y desarrollo para la Pilot Line de la UPV, con el objetivo de mejorar las líneas piloto avanzadas existentes y desarrollar nuevas en toda la Unión, para permitir el desarrollo y el despliegue de tecnologías de semiconductores de vanguardia y tecnologías de semiconductores de próxima generación. A tal efecto, resulta necesario proceder a la adquisición, entre otros, de los siguientes equipos: 4 • UPV04 - Electron beam lithography tool up to 8-inch wafers: Equipo de litografía por haz de electrones que expone patrones en resistencias sensibles mediante un haz de electrones enfocado y escaneado. Escribe características con resolución nanométrica según diseño en archivo digital. Dedicado a patronado de nanofabricación, especialmente para máscaras y estructuras en fotónica, semiconductores y nanotecnología. • UPV13 – SEM: Equipo de inspección de superficies mediante un haz de electrones enfocado que entrega imágenes de resolución nanométrica. Permite obtener información morfológica y de contraste superficial, así como contraste asociado a diferencias de composición o número atómico, en función de los detectores y modos de imagen disponibles. Dedicado a metrología, inspección y validación de proceso y control de calidad. La idoneidad del equipamiento se fundamenta en su capacidad para cubrir de forma conjunta los requisitos de patronaje y metrología dedicada necesarios para la fabricación en línea piloto de circuitos fotónicos integrados híbridos. Esta capacidad permite coordinar la definición de parámetros de exposición y puntos de interés para metrología posterior, integrar la inspección SEM externa post-proceso y asegurar la trazabilidad y coherencia de los datos generados durante el flujo de fabricación.

Plazo

Deadline 2026-09-15

¿A quién? ¿Cómo? ¿dónde?
Historial de adquisiciones
Fecha Documento
2026-07-20 Anuncio de licitación
Anuncio de licitación (2026-07-20)
Objeto
Alcance de la contratación
Título: Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV
Número de referencia: MY26/ITEAM/S/55
Breve descripción:
La contratación objeto del presente expediente se hace necesaria a fin de llevar a cabo la labor de investigación y desarrollo para la Pilot Line de la UPV, con el objetivo de mejorar las líneas piloto avanzadas existentes y desarrollar nuevas en toda la Unión, para permitir el desarrollo y el despliegue de tecnologías de semiconductores de vanguardia y tecnologías de semiconductores de próxima generación. A tal efecto, resulta necesario proceder a la adquisición, entre otros, de los siguientes equipos: 4 • UPV04 - Electron beam lithography tool up to 8-inch wafers: Equipo de litografía por haz de electrones que expone patrones en resistencias sensibles mediante un haz de electrones enfocado y escaneado. Escribe características con resolución nanométrica según diseño en archivo digital. Dedicado a patronado de nanofabricación, especialmente para máscaras y estructuras en fotónica, semiconductores y nanotecnología. • UPV13 – SEM: Equipo de inspección de superficies mediante un haz de electrones enfocado que entrega imágenes de resolución nanométrica. Permite obtener información morfológica y de contraste superficial, así como contraste asociado a diferencias de composición o número atómico, en función de los detectores y modos de imagen disponibles. Dedicado a metrología, inspección y validación de proceso y control de calidad. La idoneidad del equipamiento se fundamenta en su capacidad para cubrir de forma conjunta los requisitos de patronaje y metrología dedicada necesarios para la fabricación en línea piloto de circuitos fotónicos integrados híbridos. Esta capacidad permite coordinar la definición de parámetros de exposición y puntos de interés para metrología posterior, integrar la inspección SEM externa post-proceso y asegurar la trazabilidad y coherencia de los datos generados durante el flujo de fabricación.
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Tipo de contrato: Suministros
Productos/servicios: Circuitos integrados y microestructuras electrónicas 📦
Valor estimado sin IVA: 4 242 784 EUR 💰
Descripción
Identificador interno: MY26/ITEAM/S/55
Enfoque para reducir el impacto ambiental: Otros
Objetivo social promovido: Otros
País: España 🇪🇸
Lugar de ejecución: Valencia/València 🏙️
Duración
Fecha de inicio: 2026-11-01 📅
Fecha final: 2029-06-01 📅
Criterios de adjudicación
Criterio de calidad (nombre): Detección automática de altura y corrección del plano focal.
Criterio de calidad (ponderación): 4
Criterio de calidad (nombre): Estación avanzada de pre-alineamiento (pre-alignment station).
Criterio de calidad (ponderación): 10
Criterio de calidad (nombre): Estación de validación de recetas de proceso (emulador).
Generador de escaneo con corrección de distorsión en tiempo real.
Criterio de calidad (ponderación): 6
Criterio de calidad (nombre): Módulo de rotación e inclinación (tilt) para inspección.
Precio ✅
Precio (ponderación): 66
Título
Número de identificación del lote: LOT-0000

Procedimiento
Tipo de procedimiento
Procedimiento abierto ✅
Base jurídica: Directiva 2014/24/UE
Información administrativa
Plazo de recepción de las ofertas o solicitudes de participación: 2026-09-15 23:59:00 📅
Condiciones de apertura de las ofertas: 2026-09-16 09:00:00 📅
Condiciones de apertura de las ofertas (lugar): Sala Centro. Edificio Rectorado 1ª planta. Universitat Politècnica de València.
Lenguas en las que pueden presentarse las ofertas o solicitudes de participación: español 🗣️
Plazo mínimo durante el cual el licitador debe mantener la oferta: 2 meses
Condiciones de la licitación
Fecha de apertura: 2026-09-16 09:00:00 📅
Lugar: Sala Centro. Edificio Rectorado 1ª planta. Universitat Politècnica de València.
Facturación electrónica: Permitida
Criterios de adjudicación
Tipo de ponderación: Ponderación (puntos, exacto)
Condiciones de la licitación
El contrato contiene condiciones de ejecución ✅

Información jurídica, económica, financiera y técnica
Condiciones de participación
Criterio de selección: Volumen de negocios anual general
Lista y breve descripción de las normas y criterios: Cifra anual de negocio
Criterio de selección: Referencias sobre entregas específicas
Lista y breve descripción de las normas y criterios: Trabajos realizados
Condiciones del contrato
Condiciones de ejecución del contrato: Ver apartado X del cuadro de características .
Condiciones de participación
Motivo de exclusión: Conflicto de intereses debido a su participación en el procedimiento de contratación
Descripción de los motivos de exclusión:
Conflicto de intereses debido a que el licitador haya participado en el procedimiento de contratación objeto de este contrato.

Autoridad contratante
Nombre y dirección
Nombre: Rectorado de la Universitat Politècnica de València
Número de registro nacional: 40000260000071
Código postal: 46022
Ciudad postal: Valencia
Región: Valencia/València 🏙️
País: España 🇪🇸
Punto de contacto: Rectorado de la Universitat Politècnica de València
Correo electrónico: contratacion@upv.es 📧
Teléfono: 963877406 📞
URL: http://www.upv.es 🌏
Dirección del perfil de comprador: https://contrataciondelestado.es/wps/poc?uri=deeplink:perfilContratante&idBp=zlBD30X0P3g%3D 🌏
Tipo de poder adjudicador
Oficina/entidad regional o local
Actividad principal
Educación
Comunicación
URL de los documentos: https://contrataciondelestado.es/wps/poc?uri=deeplink:detalle_licitacion&idEvl=jayWHYFP59I36J9Lctlsuw%3D%3D 🌏
URL de participación: https://contrataciondelestado.es/wps/poc?uri=deeplink:detalle_licitacion&idEvl=jayWHYFP59I36J9Lctlsuw%3D%3D 🌏
Idioma del documento de licitación: español 🗣️
Presentación electrónica: Obligatoria
Fecha de inicio: 2026-11-01 📅
Fecha final: 2029-06-01 📅

Información complementaria
Procedimiento de revisión
Información precisa sobre los plazos de los procedimientos de revisión:
Advertir a los interesados que el presente acto pone fin a la vía administrativa. Contra el mismo se podrá interponer recurso Contencioso-Administrativo ante el órgano jurisdiccional competente de lo Contencioso-Administrativo de la Comunidad Valenciana, dentro del plazo de dos meses contados desde el día siguiente al de la recepción de la notificación de la presente Resolución. No obstante, los interesados podrán optar por interponer contra esta resolución un recurso de reposición, en el plazo de un mes, ante el mismo órgano que la dictó, en cuyo caso no cabrá interponer el recurso Contencioso-Administrativo anteriormente citado en tanto recaiga resolución expresa o presunta de recurso de reposición, de acuerdo con lo dispuesto en el artículo 123 y sig. de la ley 39/2015, de 1 de octubre del procedimiento administrativo común de las administraciones públicas (BOE 2 de octubre de 2015). En los casos previstos en el artículo 44 de la Ley 9/2017, de 8 de noviembre de Contratos del Sector Público, advertir a los interesados que esta resolución es definitiva en vía administrativa y contra la misma podrá interponerse potestativamente recurso especial en materia de contratación regulado en dicho artículo, ante el órgano de contratación de la Universitat Politécnica de València. El plazo de interposición será de 15 días hábiles, contados a partir del siguiente a aquel en que se remita la notificación del acto impugnado. En los supuestos de financiación por la U.E. (Fondos NEXT GENERATION), el plazo de interposición del recurso especial en materia de contratación, cuando proceda, será de 10 días naturales y se computará en la forma establecida en el artículo 50.1 de la Ley 9/2017, de 8 de noviembre.
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Información sobre flujos de trabajo electrónicos
Se aceptará la facturación electrónica
Fuente: OJS 2026/S 138-504178 (2026-07-20)
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